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usdt otc(www.caibao.it):耗时超四年迎曙光 国产光刻胶再迎重大进展

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  《科创板日报》(上海,研究员 何律衡)讯,继中芯国际续单ASML光刻机后,国产半导体光刻胶领域再迎喜讯。

  周一(8日)盘后,上海新阳(300236,股吧)通告称,经各方努力协商、运作,ASML-1400光刻机装备于今日已进入互助方北方集成电路技术创新中央(北京)有限公司园地,后续将举行安装调试等相关事情。公司采购的ASML干法光刻机装备顺遂交付,对加速193nm ArF干法光刻胶产物开发进度有努力影响。

  值得一提的是,天眼查显示,互助方北方集成电路技术创新中央(北京)有限公司大股东为芯链融创集成电路产业生长(北京)有限公司,后者由北京凯世通半导体有限公司在内的26个海内半导体优质公司配合出资组建。中芯国际、北京亦庄则占比各为25%并列为第二大股东。

  立项4年屡遭挫折 国产替换浪潮下终现曙光

  对于上海新阳自己来说,ASML干法光刻机装备顺遂交付意义特殊。公然资料显示,早在2016年底,上海新阳即已立项研发193纳米干法光刻胶,但在随后的研发过程中希望屡遭挫折。

  2018年3月,上海新阳和上海逸纳配合出资设立芯刻微,从事193nm干法高端光刻胶产物的研究与产业化事情,但双方于次年5月终止互助;同年12月,公司以自有资金投资江苏博砚电子科技有限公司,持有博砚电子公司10%的股权,后者主要从事平板显示产业用相关光刻胶产物的开发、生产。

  2019年10月,上海新阳启动合肥第二生产基地项目的建设。合肥基地占地115亩,总投资约6亿元。凭据部署,一期设计投资3亿元,占地50亩,达产后形成年产15000吨超纯化学质料产物的生产能力。凭据公司在定增通告中所说,此次定增拟将部门资金投资于该项目。

  进入2020年,上海新阳在该项目上的投入越发激进。8月,公司通告制定增募资不超15亿元,其中7.32亿元用于集成电路制造用高端光刻胶研发、产业化项目。主要开发ArF干法工艺使用的光刻胶和面向3D NAND台阶刻蚀的KrF厚膜光刻胶产物,力争于2023年前实现上述产物的产业化。

  11月,公司再次通告拟向特定工具发行股票召募资金总额不跨越14.5亿元,其中8.15亿元再投上述项目。若项目按设计进度举行,预计KrF厚膜光刻胶2021年最先实现少量销售,2022年可实现量产,预计ArF(干式)光刻胶项目在2022年可实现少量销售,2023年最先量产,预计昔时各项产物销售收入合计可达近2亿元。

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  东吴证券(601555,股吧)分析师柴沁虎去年3月16日讲述曾指出,上海新阳一直致力于举行半导体用光刻胶的产业化,虽然中心走过一段弯路,但参股博砚电子后,可以有用借鉴博砚电子的乐成经验。同时,公司和博砚电子也有一定水平的产业协同,以为公司是海内最有可能率先在集成电路制造用高端光刻胶取得实质性突破的企业。

  阿斯麦关键装备“松绑” 国产高端光刻胶连续突破

  去年以来,国产替换浪潮席卷半导体行业,而光刻胶作为半导体光刻工艺的焦点质料,决议了半导体图形工艺的周详水平和良率,成为了其中最受瞩目的环节之一。

  2020年12月17日,南大光电(300346,股吧)通告称,控股子公司宁波南大光电自主研发的193nm ArF光刻胶产物乐成通过客户的使用认证,标志海内第一支通过产物验证的国产ArF光刻胶就此降生,意味着历久被外洋垄断的ArF光刻胶终于迈出了国产化的第一步。

  据了解,按差别制程,半导体用光刻胶可分为EUV光刻胶、ArF光刻胶、KrF光刻胶及G线、i线光刻胶,前三者均为高端光刻胶产物,产业信息网数据显示,停止2019年海内在g线/i线光刻胶仅到达20%自给率,而KrF光刻胶自给率不足5%,ArF光刻胶则完全依赖入口。

  高端光刻胶国产替换艰难的背后,是其研发过程中对高端光刻机的严重依赖。由于在研发光刻胶的过程中需要有对应光刻机的支持,规模量产后需要在光刻机上不停调试。而先进光刻机价格昂贵,海内半导体质料公司难以承受,因而高端光刻胶基本被日本及西欧垄断。

  就在本月3日,中芯国际通告称,与荷兰光刻机制造商阿斯麦签署购买单,金额达12.02亿美元。另据《科创板日报》1日独家获悉,为中芯国际提供高制程(14nm及以上)工艺部门产物所需装备的美国装备商,已获美允许证。

  对此,华金证券胡慧团队3月7日讲述以为,中芯国际14nm及以上成熟制程禁令“松绑”,代表着我国大陆晶圆代工龙头在成熟制程上的生长前景进一步晴朗,预期未来将有更多美国装备供应商获得供应允许。

  中金公司彭虎团队同日讲述也指出,半导体装备和质料是高端制造业生长的基础,连系中芯国际潜在成熟制程获取美国装备允许证,建议关注上游装备及原质料的机遇。

  另据华泰证券(601688,股吧)胡剑团队2020年11月18日讲述,在半导体供应链平安逐渐获得重视的靠山下,国产光刻胶研发和量产或将提速,海内厂商纷纷设计在被日美垄断的半导体光刻胶领域扩大投入,并在高端ArF光刻胶领域研发和量产连续突破。

(责任编辑:岳权力 HN152)
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